HPC-F3400是恒峰g22面向先进封装前沿工艺需要开发的一款单片洗濯设备。该设备融合多元化先进化学洗濯与物理洗濯技术,兼具高产能与优异工艺不变性;其选取叠层式腔室布局,工艺腔搭载Frame 环;せ,集成化学浸泡,药液喷淋洗濯,兆声波洗濯,二流体洗濯和brush刷洗等多沉洗濯规划;同时该设备选取?榛杓,可凭据客户差距化工艺需要矫捷配置,持续满足先进封装日益严苛的晶圆表表干净度需要,支持各类先进封装造作工艺规;坎。
工艺腔室堆叠,最多4个
可配置Frame铁环;
每腔室最多配置三种药液
支持IPA干燥,带消防灭火装置
可选配三种物理洗濯喷头,二流体,Mega,PVA Brush 带压力节造
最多4支摆臂,支持定点,匀快和变快洗濯