Versatile-DC300 是一款面向12英寸晶圆留环减薄后环切的专用全自动设备。针对薄片环切工艺中易裂片、取环一致性差等痛点，Versatile-DC300 集玉成自动取环机构与掉环检测职能，精准鉴别取环异常并即时告警，共同在线 UV 解胶 ？槭迪秩』酚虢饨阂徊绞迪。切割系统标配自动磨刀装置，确保刀片始终处于最佳锐度状态；搭载实时刀片破损检测，一旦鉴别异常即刻；；，从源头杜绝批次性切割不良。后路全自动传输衔接洗濯与甩干工位，实现环切后晶圆的无接触干净流转。Versatile-DC300 以全自动、高靠得住、防呆化设计，为12英寸薄片环切工艺提供安全高效的齐全解决规划。
全自动取环、掉环检测及UV解胶
自动磨刀及实时刀片破损检测
全自动传输、洗濯及甩干