Versatile-DT150 是一款面向4英寸(100mm)与6英寸(150mm)晶圆的高机能全自动边缘建整设备。主题切割系统兼容平边(flat)与圆边(round)两种晶圆概括,搭载自适应算法精准处置复杂概括过渡,确保异形边缘建整的一致性。标配高分辨率视觉对准?,实现倒鼐关环量测与实时反馈,切割精杜纂品控关环一体。全自动传输系统支持多尺寸晶圆柔性兼容,传输节造精密靠得住,显著降低碎片风险与人为过问,以高效、紧凑、精准的一体化规划全面满足中幼尺寸晶圆的边缘建整需要。
高机能、高精度,结构紧凑,节俭干净间空间
兼容平边、圆边切割,自适应算法精准处置复杂概括过渡
高分辨率视觉对准,倒鼐关环量测与实时反馈
全自动传输,多尺寸兼容,传输节造精密靠得住